? ?勻膠機顧名思義是一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設備,它的原理相對比較簡單,利用電機高速旋轉時所產(chǎn)生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面。
? ?勻膠機有很多稱謂如:勻膠臺、旋轉涂膜機、旋轉涂層機或者旋轉涂敷機等等,它的英文是 Spin Coater旋轉涂膜的意思。
? ?勻膠機既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料必備的方法之一。使用者對于該設備大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重復性來衡量薄膜材料制備的好壞。
? ?國內外對于這種勻膠旋涂設備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國國內先開展勻膠機研制的單位是中科院微電子所,推出的KW-4A型號的勻膠機,具有低速起步和高速旋轉兩個單位。